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半導(dǎo)體製造密封圈是半導(dǎo)體設(shè)備中關(guān)鍵的核心部件，主要用於在高溫、高腐蝕、高真空等極端工藝環(huán)境中提供可靠密封，防止泄漏和汙染，氟橡膠耐溫範(fàn)圍-20℃至300℃（短期可承受330℃），耐受1600多種化學(xué)物質(zhì)，適用於蝕刻、沉積等嚴(yán)苛工藝。
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